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本实用新型涉及一种气氛切换及流量智能控制模块，该装置主要由气氛切换模块和流量控制模块组成，所述气氛切换模块主要包括气氛切换电磁阀V1和气体切换驱动电路。当上位机发出切换命令后，将命令传输至MCU，MCU将信号转换成控制信号通过驱动电路和光藕...该专利属于上海精密科学仪器有限公司;上海精科天美科学仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精密科学仪器有限公司;上海精科天美科学仪器有限公司授权不得商用。