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本实用新型涉及一种能够在硅基板和膜的接触部位上减小残余应力的微电子机械系统(MEMS)传声器。本实用新型提供一种微电子机械系统传声器及其制造方法，本实用新型的微电子机械系统传声器包括：硅基板，形成有背腔；支撑板，蒸镀在所述硅基板，形成有多个...
该专利属于宝星电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宝星电子股份有限公司授权不得商用。

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