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一种自动排序的流水线处理系统。所述系统采用新的架构，其在为线性时，可自主地排序处理并且如有需要在不同的方向上移动衬底。所述系统同时移动几个衬底；然而，与现有技术不同的是所述系统不利用托盘。...
该专利属于奥博泰克LT太阳能公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥博泰克LT太阳能公司授权不得商用。

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