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提供了一种薄膜沉积系统和薄膜沉积方法。该薄膜沉积系统包括：用来供给原材料的原材料供给器；原材料气体供给器，包括与该原材料供给器相连的用以蒸发由该原材料供给器供给的原材料的蒸发器；薄膜沉积设备，与该原材料气体供给器相连，用以将由该原材料气体供...
该专利属于周星工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过周星工程股份有限公司授权不得商用。

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