下载一种耐腐蚀精密气体稳压器的技术资料

文档序号:6705445

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本发明涉及耐腐蚀精密气体稳压器,其在气罐上方固定有平板;平板上的膜片开有通孔,使得气罐与膜片相通;膜片上方罩有零位腔盖;下针形杆的底端放在膜片上表面,下针形杆的顶端顶着传感器杠杆的一个支腿;上针形杆的底端放置在传感器杠杆的另一个支腿上,上针...
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