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本实用新型涉及一种包括氯化氢气体供气管道（18）、氯化氢气体缓冲室（17）、氯化氢气体分配板（50）、氯化氢与硅粉反应的反应室（11）、硅粉加料口（14）、硅粉和气体进行分离的气-固分离室（12）及反应气体取出口（13）的三氯硅烷合成装置（...
该专利属于宁夏阳光硅业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏阳光硅业有限公司授权不得商用。

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