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角速度传感器和电子装置制造方法及图纸
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下载角速度传感器和电子装置的技术资料
文档序号:6701113
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本发明涉及角速度传感器和电子装置。提供了包括第一振动元件、第二振动元件以及支撑基板的角速度传感器。第一振动元件检测围绕与第一方向平行的轴的第一角速度。第二振动元件检测围绕与斜交于第一方向的第二方向平行的轴的第二角速度,并且生成与围绕垂直于第...
该专利属于索尼公司所有,仅供学习研究参考,未经过索尼公司授权不得商用。
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