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本发明公开了一种蒸发源。在一个实施例中，蒸发源包括：i)熔罐，在其一侧是敞开的并被构造为储存沉积材料；ii)喷嘴部分，位于熔罐的敞开侧上并包括多个喷嘴，其中，每个喷嘴具有被构造为喷射穿过喷嘴的沉积材料的侧壁，侧壁具有倾斜部分。蒸发源还包括：...
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