下载一种片状二氧化钛阵列薄膜及制备方法的技术资料

文档序号:6680088

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本发明涉及一种片状二氧化钛阵列薄膜及制备方法。该片状二氧化钛薄膜由六角形薄片以c轴方向平行于衬底排列而成,薄片直径为5-20微米,厚度为10-100纳米。六角形薄片由5~20nm金红石相二氧化钛晶粒定向排列而成。本发明的方法在较低温度下和不...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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