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本发明涉及一种氢化硅薄膜弹性模量的判别方法，其特征是用拉曼光谱对所制备的氢化硅薄膜进行了微观结构分析，用晶态比来表征薄膜晶态组分和非晶界面组分体系，由晶态比与弹性模量一一对应的关系，可以对弹性模量值进行判别。本发明方法操作简便，对薄膜本身没...
该专利属于江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大学授权不得商用。

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