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一种用于冻干机的过滤器完整性检测系统及其检测方法技术方案
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文档序号:6678833
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本发明涉及一种用于冻干机的过滤器完整性检测系统及其检测方法,其中,所述检测系统包括通过管路依次串联至所述冻干箱的一完整性检测仪、一完整性空气导入阀、一过滤器干燥阀、一电加热器、一预过滤器、第一放气阀、第一过滤器、第二放气阀、第二过滤器、第三...
该专利属于上海共和真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海共和真空技术有限公司授权不得商用。
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