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三轴电容式微加速度计包括SOI基片、质量块、挠性梁、齿枢、固定电极和活动电极。结构为中心对称图形，通过XY平面、Z轴方向的质量块分别感知三个正交方向的加速度。通过XY平面上的回形梁和Z轴方向上的挠性梁的设计，使得三个正交方向上的加速度灵敏度...
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