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排放处理液的设备和方法技术
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文档序号:6676836
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本发明提供了一种排放处理液的设备和方法。门架能够旋转以使与门架连接的喷头的喷嘴能够被置于相对于基板的移动方向倾斜的方向上,然后处理液的液滴能够通过所述喷嘴排放到所述基板上。因此,所述喷嘴的处理液排放间距能够根据所述基板的单元间距进行调整,由...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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