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整合的晶圆级别封装体制造技术
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文档序号:6673646
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一种整合的晶圆级别封装体:具有第一表面和对应的第二表面的第一晶圆;具有第一表面和对应的第二表面的第二晶圆,两晶圆之间隔有距离,第一晶圆的第二表面与第二晶圆的第一表面相面对并形成第一间距;在第一晶圆第二表面上的第一体声波滤波器;在第二晶圆第一...
该专利属于张浩所有,仅供学习研究参考,未经过张浩授权不得商用。
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