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一种提高高反光学薄膜激光损伤阈值的镀制方法技术
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文档序号:6671796
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一种提高高反光学薄膜激光损伤阈值的镀制方法。随着激光器输出功率和能量的不断提高,对激光器腔镜高反膜的反射率和损伤阈值提出了越来越高的要求,大多数企业和研究机构采用的是电子枪热蒸发的方法,此方法镀制的膜层比较疏松,表面缺陷严重。本发明要解决的...
该专利属于福建福晶科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建福晶科技股份有限公司授权不得商用。
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