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基于热损失工作方式的圆形硅膜二维风速风向传感器，采用圆形的半导体硅薄膜作为传感面，采用圆形的半导体硅薄膜(104)作为传感面，传感器的最下层是半导体硅衬底(101)，在硅衬底(101)上设置一排发热电阻(102)，在具有发热电阻(102)的...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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