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一种亚纳米厚度的纳米孔传感器制造技术
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文档序号:6668110
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本发明公开了一种亚纳米厚度的纳米孔传感器。第二电泳电极或微泵、第二储藏室、第二微纳米分离通道、基板、第一绝缘层、亚纳米功能层、第一微纳米分离通道、第一储藏室、第一电泳电极或微泵顺次放置,亚纳米功能层的中心设有纳米孔,第一绝缘层的中心设有第一...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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