下载一种应用于石英晶振片的旋转镀膜装置的技术资料

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一种应用于石英晶振片的旋转镀膜装置,包括密封室、旋转镀膜器和气温控制系统;旋转镀膜器位于密封室内,由旋转机构、镀膜盘和石英晶振片固定部分组成,旋转机构包括电机、旋转轴、基座和电机无极调速器,镀膜盘包括转盘和托盘,托盘中心通过螺栓与旋转轴端部...
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