下载单晶硅片运转车的技术资料

文档序号:6650188

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一种单晶硅片运转车,包括底盘(1),该底盘(1)上固定有门形立柱(2),所述门形立柱(2)上安装有横梁(3),该横梁(3)上安装有左横臂(4)和右横臂(5),在左横臂(4)和右横臂(5)之间安装有硅片槽(6),其特征在于:所述左横臂(4)和...
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