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本发明涉及气体进口分布器及在于多晶硅还原炉上的应用。按照分型面原理，首先将一级进气管一分为二，形成两个二级进气管；每个二级进气管进一步一分为二，形成四个三级进气管；以此类推，最终出现十六个结构对称、等价的五级进气管。将各个五级进气管分别连接...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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