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校准装置、缺陷检测装置、缺陷修复装置、校准方法制造方法及图纸
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文档序号:6643150
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本发明提供一种校准装置、缺陷检测装置、缺陷修复装置、校准方法。本发明的校准装置包括:照相机,用来拍摄对象物;图像获取部,获取所述照相机拍摄的拍摄图像;坐标对应信息生成部,生成包含坐标值的坐标对应信息,所述坐标值用来确定所述图像获取部获取的所...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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