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本发明提供光电装置及其制造方法，该制造方法包括：在多个工序腔室组中于第i个(i为1以上的自然数)工序腔室组内形成具有第一结晶体积分率的第一子层的步骤；在所述多个工序腔室组中于第i+1个工序腔室组内形成与所述第一子层接触且含晶硅粒子并具有比所...
该专利属于韩国铁钢株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过韩国铁钢株式会社授权不得商用。

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