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本发明提供能够通过有效地减少氩气的杂质含有率以减少其后的吸附处理的负荷、减少精制所需的能量、以高纯度精制氩气的实用的方法和装置。在精制作为杂质至少含有氧、氢、一氧化碳及氮的氩气时，将氩气中的氧摩尔浓度设定为超过一氧化碳摩尔浓度和氢摩尔浓度之...
该专利属于住友精化株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友精化株式会社授权不得商用。

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