下载直拉单晶炉加热装置的技术资料

文档序号:6624277

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本实用新型公开了一种直拉单晶炉加热装置,包括石墨坩埚、石英坩埚,其中石英坩埚设置在石墨坩埚内,其特征在于:在所述石墨坩埚和石英坩埚之间加垫有石墨纸,其中所述石墨坩埚的外表面形成有条形凹槽。本实用新型提供的直拉单晶炉加热装置不但解决了现有技术...
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