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本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域。一种电子束高效提纯多晶硅粉体的设备，设备中由真空盖、炉壁和装粉盖组成真空设备，真空设备内腔是真空室；真空室内上部装有装粉桶，装粉桶顶部带有装粉盖，装粉盖位于真空炉壁上，装粉桶底部带有出料口，...
该专利属于大连隆田科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连隆田科技有限公司授权不得商用。

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