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本发明涉及一种驱动-传感一体化压电晶片泵，至少包括一个晶片型压电振子(压电晶片和金属基板粘接而成)、一个泵体、一个泵盖、一组控制流体运动方向的单向阀以及一个控制电源。其特征在于，所述压电振子中压电晶片表面的电极被分割成驱动单元和传感单元两部...
该专利属于浙江师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江师范大学授权不得商用。

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