下载图像传感器及其形成方法的技术资料

文档序号:6614319

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一种图像传感器形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底内形成有掺杂阱,以及位于所述掺杂阱内的掺杂区,所述掺杂阱与掺杂区的掺杂类型相反;在所述半导体衬底表面形成至少覆盖所述掺杂区的介质层;形成贯穿所述介质层的沟槽,所述沟槽暴露所述掺杂区...
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