下载一种圆形旋转加热装置的技术资料

文档序号:6605854

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本实用新型提供一种圆形旋转加热装置,涉及材料蒸镀制备技术领域,所述装置包括圆柱形基座,所述圆柱形基座上设置有数个沿圆周排列的加热源,每个加热源上设置有坩埚,所述基座中心设置有圆孔,所述圆孔与连接所述基座底部的圆管一端相对应,所述圆管另一端摆...
该专利属于昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司授权不得商用。

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