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本发明涉及一种以氮气为直接掺杂源一步法制备氮掺杂P型氧化锌薄膜的方法，即磁控溅射法。在磁控溅射过程中，以金属锌为靶材，以氩气为溅射气体，氧气和氮气为反应气体，在磁控溅射腔室真空度达到10-4Pa时，通入一定比例的氩气，氧气和氮气；在进行磁控...该专利属于蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司授权不得商用。