下载镀膜装置的技术资料

文档序号:6558821

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一种镀膜装置,其包括一真空腔,一设有红外线接收器的旋转支撑组件,两个分别固定在旋转支撑组件上的固定臂,两个翻转马达,一设有红外线发射器的承载部,一位于真空腔的底部的蒸镀源及同时与两个翻转马达及红外线接收器电连接的控制器。所述旋转支撑组件可旋...
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