下载金属热处理装置及金属热处理方法的技术资料

文档序号:6558610

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本发明提供一种金属热处理装置,其包括加热腔、第二偏压电源与第一偏压电源。该加热腔用于收容待处理金属以对其进行热处理,该第一偏压电源与第二偏压电源分别于该加热腔内产生两个方向相反的电场。该第一偏压电源的偏压值U1与第二偏压电源的偏压值U2分别...
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