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一种溅镀承载架,包括一本体与至少一导热管。本体的一面用于承载需溅镀的物品。导热管设置于本体背向承载需溅镀的物品的面的另一面上。上述溅镀承载架通过设置于其上的导热管,可以将溅镀过程中局部出现的异常高热量迅速地均匀散布到承载架的其他位置,从而避...该专利属于康准电子科技(昆山)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康准电子科技(昆山)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司授权不得商用。