下载在射频场中使用网的离子操纵的方法和设备的技术资料

文档序号:6549908

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离子操纵系统包括通过穿透网的RF场的离子排斥。另一种包括在网周围的对称的RF场中俘获离子。该系统使用宏观部件、或者可容易获得的精细网,或者通过MEMS或柔性PCB方法制作的小型化装置。一种应用是从气体离子源传输离子,其中,在中间和高气压下进...
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