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一种用于利用线束照射样本的光学系统包括：光源(24)；光束定形器(30)，其用于将光源发射的光束转换成中间像散像；以及成像系统，其用于将该中间像散像转换成最终的像散像并且用于照射样本。光束定形器(30)在侧向平面内以及在横向平面内提供不同的...
该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。

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