下载GaAs基InAs/GaSb超晶格近红外光电探测器及其制作方法的技术资料

文档序号:6546510

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本发明公开了一种GaAs基InAs/GaSb超晶格1至3微米波段红外光 电探测器,该红外光电探测器由自下而上的GaAs衬底、GaAs缓冲层、 AlSb成核层、GaSb下缓冲层、AlSb/GaSb超晶格层、GaSb上缓冲层、 InAs/GaS...
该专利属于汤宝;周志强;郝瑞亭;任正伟;徐应强;牛智川所有,仅供学习研究参考,未经过汤宝;周志强;郝瑞亭;任正伟;徐应强;牛智川授权不得商用。

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