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本发明揭露一种电容式传感器及其制造方法。该电容式传感器包括：一基板；一第一电极，设置在该基板上；一上盖，具有一穿孔与该穿孔以外的一腔体；一第二电极，设置在该上盖上且横跨该穿孔；其中该第二电极是可变形的，以响应来自该穿孔的压力波动，且该第二电...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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