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本发明提出一种气浴控温装置及方法，所述装置包括：气浴板；进风口，和每个所述气浴板相连；所述气浴控温装置还包括第一气帘和第二气帘，所述第一气帘和所述第二气帘相互垂直放置，且位于所述孔板的同侧。本发明气浴控温装置及方法实现了对精密机械仪器进行控...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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