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四川瑞晟光伏材料有限公司
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多晶硅还原炉制造技术
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文档序号:6526509
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本实用新型实施例公开了一种多晶硅还原炉,包括炉体和底盘,所述底盘上具有多对均匀分布的电极,所述电极的排布呈蜂窝状,具体为:所述底盘中心具有六个电极,所述六个电极以所述底盘的中心为中心点呈正六边形排布,所述六个电极分别位于所述正六边形的六个顶...
该专利属于四川瑞晟光伏材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川瑞晟光伏材料有限公司授权不得商用。
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