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一种用于三轴光纤陀螺的集成光学芯片制造技术
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文档序号:6510588
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本发明所提出的三轴光纤陀螺的集成光学芯片集成了输入光波导、第一方向耦合器、第二方向耦合器、第三方向耦合器、马赫-曾德尔结构的光波导衰减器、输出光波导、第一Y分支耦合器、第二Y分支耦合器、第三Y分支耦合器和设计制作的金属电极。芯片由低损耗的有...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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