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双激光束分离光学晶体装置制造方法及图纸
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文档序号:6506576
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本实用新型公开了一种双激光束分离光学晶体装置,装置包括二维工作台和两套激光加工系统,激光加工系统均包括Z轴移动机构以及依次位于同一光路上的激光器、扩束准直镜、反射镜和聚焦镜;聚焦镜固定在Z轴移动机构上。该装置利用高峰值功率、低脉冲能量的第一...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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