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本发明是有关于一种晶圆压膜机离形膜保护机构，其包含一供晶圆置放的下腔体；一位于下腔体上方并可相对下腔体上下移动以呈现接近或远离的上腔体，且上腔体开设有多个对应下腔体的气孔；一供离形膜得以延展于上腔体与下腔体间，并可持续替换离形膜区段的离形膜...
该专利属于志圣工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过志圣工业股份有限公司授权不得商用。

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