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一种ITO靶材的成型方法,其特征是:有下述料浆制备、振动注浆、脱模干燥、冷等静压、烧结步骤完成:料浆的原料为共沉淀法制备的ITO粉或分别制备的ITO粉,加去离子水,加适量的分散剂和粘结剂,搅拌均匀后过300目筛,制成重量浓度为30-80%的...
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