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一种单晶硅太阳能电池前表面用叠层复合钝化膜，在太阳能电池单晶硅基体（5）的前表面，从内至外依次设有氧化硅薄膜（4）、氢化非晶硅薄膜（3）和氮化硅薄膜（2）。本实用新型的氧化硅薄膜使电池片的表面态密度同硅的原子密度在同数量级，氢化非晶硅薄膜能...该专利属于东方电气集团(宜兴)迈吉太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方电气集团(宜兴)迈吉太阳能科技有限公司授权不得商用。