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本实用新型公开了一种多重薄膜结构的声表面波气体传感器，包括压电基片，所述压电基片上设有输入叉指换能器和输出叉指换能器，所述压电基片上输入叉指换能器和输出叉指换能器之间构成声表面波传播通道，在声表面波传播通道上覆盖有气体敏感薄膜，所述气体敏感...
该专利属于中国人民解放军第三军医大学第三附属医院所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军第三军医大学第三附属医院授权不得商用。

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