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本实用新型涉及一种真空镀膜设备中的矩形平面磁控阴极结构，包括：在阴极体和靶材压条的外周设置屏蔽罩；在冷却背板和靶材之间还设置一层导热碳膜；还包括：一磁路组件；所述的磁路组件固定设置在阴极体内且位于冷却背板的下部；所述的磁路组件包括由永磁材料...该专利属于上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司授权不得商用。