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气体传感器制造技术
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文档序号:6356643
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本发明提供一种气体传感器,可以高灵敏度地检测数ppb水平的低浓度NO2。所述气体传感器至少包括:银催化剂构件(4),在内部形成有样气能够通过的间隙,银至少在所述间隙的表面上露出;第一半导体式气体传感器元件(5),形成有气体感应膜,该气体感应...
该专利属于株式会社堀场制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社堀场制作所授权不得商用。
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