下载超纯氦及超纯氩的手推式小型净化装置的技术资料

文档序号:6354037

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本实用新型公开了一种超纯氦及超纯氩的手推式小型净化装置,包括原料储罐,净化器,产品储罐,所述的换热器、净化器、过滤器设于带轮子的箱式框架中,换热器一端有原料进气管伸出带轮子的箱式框架外连接原料储罐,原料进气管上设有流量计,过滤器一端有产品出...
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