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本发明提供一种树脂膜形成方法，其能形成膜厚均匀、平 滑性优良的树脂膜，能获得不会产生翘曲的、平坦性优良的基 板。另外，在树脂膜的光照射和非照射的边界处，树脂膜的固 化和未固化明显。在通过旋转使被供给到基板上的液状物质延 展开的过程中或者在延...
该专利属于欧利生电气株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过欧利生电气株式会社授权不得商用。

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