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用于制造具有带有纹理表面的透明传导氧化物层的多层结构的工艺和借此制成的结构制造技术
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文档序号:6338487
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本发明涉及一种用于制造具有带有纹理表面的透明传导氧化物(TCO)层的多层结构的新颖工艺,其包括形成富含金属的TCO层。本发明的所述工艺尤其可用于制造光伏电池。在通过本发明的所述工艺制成的装置中,TCO层的所述纹理表面可维持高粗糙度,同时消除...
该专利属于杜邦太阳能有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杜邦太阳能有限公司授权不得商用。
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