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具有多上炉室的晶柱成长装置制造方法及图纸
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下载具有多上炉室的晶柱成长装置的技术资料
文档序号:6331880
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本实用新型是一种具有多上炉室的晶柱成长装置,该装置其包括:一底座、一下炉室、一升降回旋装置、及至少二上炉室。该上炉室是具有一拉晶机可执行晶柱成长工艺,且,当该上炉室完成晶柱成长工艺并等待晶柱冷却的同时,可使用另一上炉室以继续下一段晶柱成长工...
该专利属于均豪精密工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过均豪精密工业股份有限公司授权不得商用。
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